億科 蠕動泵配套水蒸氣發生器流量控制精度達到1.5%，較傳統的轉子流量計精度(+/-5%以上)高出很多，確保混合氣體輸出濃度波動小，精度高。

億科 多通道水蒸氣發生器通過精密注射泵控制進液量，通過相變汽化模塊將液體先分散成液膜再進行換熱轉化成水蒸氣。可以穩定地將一路液體蒸發。相變汽化模塊不僅具有蒸發混合穩定的特點，而且具有非常寬的蒸發范圍，應該范圍較廣泛。